文章摘要:电子光学软件Egun是用于计算二维静电场和静磁场状态下电子轨迹的专业软件。它在设计Pierce电子枪等电子光学系统方面比较成功，而且计算速度快，至今仍被广泛应用。Egun在真空电子器件的模拟仿真中，对设计的电子光学系统电子注层流特性的评估，仅能通过对电子轨迹的观察来判断其层流性的好坏，该软件并没有给出定量的评估指标参数，且对设计参数的修改十分繁琐，缺乏自动优化功能，极大地影响了Egun优势的发挥。本文提出了交叉率和波动率评估指标来衡量电子注的层流特性并开发了一套自优化软件。模拟仿真结果表明：交叉率和波动率可以准确地定量评估电子注层流特性的好坏；根据模拟仿真分析，当电子注交叉率低于3%且波动率低于30%时，电子注的层流特性可以满足设计需求。层流特性评估指标—交叉率和波动率也为电子光学系统自动优化寻找最佳参数值提供了目标评估参数，极大地减少人员和物力的消耗。

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论文DOI:10.13922/j.cnki.cjvst.202203010

论文分类号:TN20